應(yīng)用范圍：MSK-PSP-FE1010閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計，設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實驗室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

產(chǎn)品型號：MSK-PSP-FE1010

更新時間：2025-07-03

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鈣鈦礦太陽能電池制備

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產(chǎn)品介紹

MSK-PSP-FE1010閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計，設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實驗室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

功能特點

真空管道設(shè)計，抽真空時氣流平穩(wěn)，成膜更均勻；
大功率真空泵，抽真空速度快，更有利于溶劑揮發(fā)；
內(nèi)置真空壓力測量傳感器，程序控制抽真空與泄壓，操作便捷；
配備手動調(diào)節(jié)進氣閥，可控制泄壓時氣流大小；
上蓋配備玻璃視窗，便于觀察成膜過程；
可更換抽氣口方向，可選擇側(cè)面或后面（默認側(cè)面，有其他方向需要請備注）。

技術(shù)參數(shù)
電源	本體：單相AC220V±10%，頻率50Hz，功率約1.2W
極限壓力	本體：2Pa 真空泵：≤5x10?1Pa
抽速	5秒，壓力降至10Pa 10秒，壓力降至5Pa （以上數(shù)據(jù)均為在實驗室環(huán)境，腔體內(nèi)無水無油空腔狀態(tài)下測得）
漏率	≤5X10??Pa·m3/s
基材尺寸	Max L100mmxW100mmxH10mm
設(shè)備本體尺寸	約L410mmXW220mmXH220mm
真空泵尺寸	約L650mmXW210mmXH580mm（含過濾器高度）
設(shè)備本體重量	約20KG
真空泵重量	約63KG